Требования к гелевым уплотнениям Semiconductor Fab для чистых помещений класса 100 — технический анализ

Технические характеристики гелевого уплотнения для чистых помещений с полупроводниками. Hong Ye HY-9400 стал эталоном для производств по производству 12-дюймовых пластин, литографических отделений и мини-сред, требующих воздуха класса 5 по ISO. HY-9400 имеет низкое выделение газа (общая потеря массы менее 0,1 процента) и нулевое содержание летучих органических соединений, что соответствует требованиям SEMI F57 для материалов, совместимых с чистыми помещениями. В качестве двухкомпонентного платинового геля аддитивного отверждения, смешанного в соотношении 1:1 по весу, HY-9400 обеспечивает вязкость 1200+/-300 мПа·с, время работы от 20 до 40 минут и отверждение при комнатной температуре от 4 до 6 часов. Он самовыравнивается после заливки без вакуумной дегазации и затвердевает, образуя постоянно мягкую, липкую, желеобразную массу, которая остается работоспособной в диапазоне температур от -60 до 200 градусов Цельсия. Затвердевший гель устойчив к озону, УФ-излучению, влаге, соляному туману и обычным дезинфицирующим средствам для чистых помещений, имеет линейную усадку менее 0,1 процента и диэлектрическую прочность выше 20 кВ/мм.

Чтобы получить стабильные результаты, инженеры должны соблюдать четыре правила эксплуатации. Во-первых, перед дозированием всегда тщательно перемешивайте компонент B в течение не менее двух минут, поскольку цветная паста и платиновый катализатор имеют тенденцию оседать во время хранения. Во-вторых, точно взвесьте A и B в соотношении 1:1 по весу, используя калиброванные цифровые весы; Неправильное смешивание приводит к появлению мягких или липких пятен. В-третьих, используйте чистые полиэтиленовые, нейлоновые или нитриловые перчатки и специальные инструменты; латекс натурального каучука, каучук, вулканизированный серой, амины, соединения фосфора и силикон, вулканизированный оловом, ингибируют платиновый катализатор. В-четвертых, заливайте при температуре от 18 до 35 градусов по Цельсию и оставьте на 4-6 часов перед вводом узла в эксплуатацию; для массового производства термообработка при температуре 60–80 градусов может сократить цикл до 30–60 минут.

Типичными последующими клиентами являются подрядчики по проектированию чистых помещений, производители HEPA-фильтров, производители шкафов для биобезопасности, производители интеллектуальных счетчиков и датчиков, поставщики автомобильной электроники, а также бренды интимной одежды или медицинских гелевых подушечек. Каждая партия HY-9400 выпускается с сертификатом анализа, охватывающим вязкость, пенетрацию, время отверждения, цвет и липкость, а сопроводительная документация включает RoHS 2.0, REACH SVHC и, по запросу, отчеты FDA 21 CFR 177.2600 и LFGB. Срок годности составляет 12 месяцев в закрытой упаковке и хранении при температуре ниже 25 градусов Цельсия.